الاخرق تفل ترسب التبخر Electronbeam ترسب البخار المادي تجويف المغناطيسية شعاع أيون ترسيب البخار المادي أيون Beamassisted ترسب أيون عربة الإلكترون أشعة القطب السالب السوق آلة محول نظام